臭氧是由氧原子产生的天然气体。氧分子由2个氧原子组成。这些氧气分子在雷暴天气下被电晕放电或太阳发出的紫外线分解成原子。没有重新组合成双原子的氧分子，单个氧原子就不可能单独存在。在此重组阶段，一些原子将重新组合成松散键合的三原子氧。如右图所示，该新分子称为臭氧（d = 1.28，Theta = 116.5）。由于该氧分子中的键松散？臭氧是一种非常强的氧化剂，是一种理想的无化学物质的净化和消毒剂。
臭氧经常被误诊并等同于低空污染。没有什么比真相更遥远。实际上，臭氧会分解污染物，当在空气中发现臭氧时应受到欢迎。
商业生产臭氧的有效方法是使用脉冲注入电晕放电。