臭氧与氯
前锋比较消毒效率时，臭氧比次氯酸（HOCl）高25倍，比次氯酸盐（OCl）高2500倍，比氯胺（NH2Cl）高5,000倍。这些结果是通过比较CT常数？浓度x时间需要杀死99.99％的所有微生物。氯与有机物质发生反应形成含氯有机物，例如氯仿，四氯化碳，氯甲烷和其他通常称为三卤甲烷（THMs）的有机物。
臭氧与有机物发生反应，将其分解为更简单的化合物。这些有机物（例如草酸）很难仅通过臭氧就分解为二氧化碳，但是如果在活性炭上进行细菌降解，它们将被去除。稍后可以用少量氯（例如0.2-0.3 ppm）处理该水，以保持分配系统中的卫生。这样就不会形成THM。THMs被认为是肾癌，膀胱癌和结肠癌的致癌物。监管机构再次降低了社区供水系统中THM的允许水平。目前该限值为0.05 ppm。根据科学研究，该水平很可能很快会降低到0.01 ppm。
臭氧不会与THM发生明显反应，因为它们更耐氧化-需要很长时间才能完全氧化。由于物理鼓泡，臭氧/空气混合物的曝气作用会去除一些THM。